1 范圍
本文件給出了監測粒徑限值不超過0.1 μm（100 nm）的“納米尺度”粒子濃度的技術要求。
本文件給出的監測技術要求主要用于“動態”。
注1：本文件提及的“納米尺度粒子”是指所有在1維上（納米片）、2維上（納米纖維）或3維上（納米粒子）具有納米尺度的納米物質。
注2：請注意，潔凈室內粒子的實際特性是由粒子的來源及其物理特性所決定的。
注3：本文件未考慮健康與安全事項。
2 規范性引用文件
本文件沒有規范性引用文件。
3 術語和定義
下列術語和定義適用于本文件。
ISO和IEC在以下網址維護用于標準化的術語數據庫：
IEC Electropedia：可從 htps：//www.electropedia.org/獲取；
ISO在線瀏覽平臺：可從https： //www.iso.org/obp獲取。
3.1 通用
3.1.1
潔凈室 cleanroom
空氣懸浮粒子濃度受控并分級的房間，其設計、建造到運行均使進入、產生、滯留于房間的粒子受控。
注1：規定了按空氣懸浮粒子濃度劃分的級別。
注2：也可對影響潔凈度等級的其他因素，如空氣中化學物、微生物或納米尺度粒子濃度等，以及影響表面潔凈度 等級的其他因素，如粒子、納米粒子、化學物或微生物濃度等，作出規定并進行控制。
注3：溫度、濕度、壓力、振動和靜電等相關的物理參數，也可按要求受控。
[來源：GB/T 25915.1—2021,3.1.1]
3.1.2
潔凈區 clean zone
空氣懸浮粒子計數濃度受控并分級的限定空間。其建造和運行使進入、產生和滯留于空間的粒子受控。
注1：空氣懸浮粒子濃度的級別已確定。
注2：也可以對影響潔凈度等級的其他因素，如空氣中化學物、微生物或納米尺度粒子濃度等，以及影響表面潔凈度等級的其他因素，如粒子、納米粒子、化學物或微生物濃度等，作出規定并進行控制。
注3：潔凈區可以是限定于潔凈室內的空間，也可用隔離裝置實現。隔離裝置既可設在潔凈室內也可在潔凈室外。
注4：溫度、濕度、壓力、振動和靜電等相關的物理參數，也可按要求受控。
[來源：GB/T 25915.1—2021 ,3.1.2]
3.2 尺寸
3.2.1
納米尺度 nanoscale（nanometer scale）
尺寸范圍約在1 nm~100 nm。
注：在此尺寸范圍內粒子的特性一般不是從較大尺寸的推導而得，但也并非絕對。
[來源：ISO/TS 800042:2015, 2.1]
3.2.2
分割粒徑 particle size cutoff
D50
計數效率為50%的粒徑。
注：計數效率解釋見附錄B。
3.3 空氣中的粒子
3.3.1
納米粒子 nanoparticle （nanometer particle）
所有外尺寸均為納米尺度（3.2.1）、最長軸與最短軸沒有顯著差別的納米物體。
注：若納米物質的最長軸線與最短軸線差別顯著（一般大于3倍），傾向于使用術語納米棒或納米片，而不用納米粒子。
[來源：ISO/TS 800042：2015, 4.4]
3.3.2
粒徑分布 particle size distribution
以累積分布表示的粒子濃度與粒徑的函數關系。
[來源：GB/T 25915.1—2021,3.2.4]
3.3.3
氣溶膠 aerosol
懸浮于氣體中的固體的或液體的粒子系統。
[來源：ISO 15900：2009,2.1]
3.4 占用狀態
3.4.1
動態 operational
潔凈室（3.1.1）或潔凈區（3.1.2）設施按議定方式運行，且有規定數量的人員按議定方式工作的狀態。
[來源：GB/T 25915.1—2021,3.3.3]
3.5 測量儀器
3.5.1
凝結粒子計數器 condensation particle counter ； CPC
測量氣溶膠（3.3.3）粒子數量濃度的儀器。
注1：探測的粒徑一般介于幾納米到幾百納米之間。
注2： CPC可與差分電遷移率分析儀（DEMC）一起使用的探測器。
注3：在某些情況下，凝結粒子計數器也可稱為凝結核計數器（condensation nucleus counter,CNC）。
[來源：ISO 15900:2009,2.5]
3.5.2
計數效率 counting efficiency
給定粒徑范圍內讀出的粒子濃度與實際粒子濃度之比。
[來源：GB/T 25915.3—2010,3.6.5]
4 監測
4.1 概述
就測量而言，唯一重要的粒子特性是其“當量直徑”。
4.2 原理
需方規定的監測限值和要求，是根據需方和供方的商定，按規定測試方法進行測試并提供測試結果與測試條件的文件來驗證的。見GB/T 25915.2—2021中附錄A，它規定了以預期使用的風險評估為依據的監測計劃的要求。所獲得的數據提供了潔凈室與納米粒子濃度有關的性能的佐證。
4.3 方法
為監測空氣中的納米尺度粒子，用CPC對空氣中納米尺度粒子計數最有效。使用CPC進行監測 的標準方法見附錄A。按納米尺度粒子監測空氣潔凈度的方法，應給出系統性的計劃、良好定義了的步驟、闡明評估如何實施。一般來說，設施的告警值和行動值依據的是風險評估。如果供方和需方有要求，則可協商定立限值。
計數方法的標準內容應包括：
——待測的納米尺度粒徑；
——采樣和分析對時間的相關性；
——采樣量;
——采樣點位置；
——樣本數量；
——工藝/產品的關鍵性；
——潔凈區設計/平面圖。
至少與CPC測量具有可比性能的其他方法和儀器也可做出規定。如若沒有規定的或商定的其他替代方式，則使用此標準方法。
應使用校準過的儀器實施符合性驗證測試。
5 檢測報告
每個潔凈區的檢測結果應記錄下來并以綜合報告提交。數據總結要包括不良趨勢監測數據的審核，運行水平，與4.2規定的監測計劃相符的調查要求。
檢測報告應包括如下內容:
a）檢測機構的名稱、地址和檢測日期；
b）本文件編號，如 GB/T 25915.12—2021 ；
以上為標準部分內容，如需看標準全文，請到相關授權網站購買標準正版。
