1 范圍
本標(biāo)準(zhǔn)給出了潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境的空氣過(guò)濾器效率分級(jí)和各種過(guò)濾器的應(yīng)用要素。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中使用的空氣過(guò)濾器。
2 規(guī)范性引用文件
下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,僅注日期的版本適用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。
GB/T 25915.3—2010 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第3部分:檢測(cè)方法
GB/T 25915.6-2010 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第6部分:詞匯(ISO 14644-6 ：2007,IDT)
ISO 29463-1：2011 高效率空氣過(guò)濾器和濾材 第1部分：分級(jí)、性能試驗(yàn)、標(biāo)識(shí)(High-efficiency filters and filter media for removing particles in ail——Part 1 ： Classification, performance testing and marking)
ISO 29463-2；2011 高效率空氣過(guò)據(jù)器和濾材 第2部分:氣溶膠發(fā)生、測(cè)量裝置、粒子計(jì)數(shù)統(tǒng)計(jì) 學(xué)方法(High-efficiency filters and filter media for removing particles in air-Part 2 ： Aerosol production, measuring equipment and particle-counting statistics)
3 術(shù)語(yǔ)和定義
GB/T 25915.6-2010界定的以及下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件。
3.1
空氣過(guò)濾器 air filter
用于清除氣流中懸浮顆粒物和某些氣相污染物的過(guò)濾器。
3.2
效率 efficiency
試驗(yàn)條件下，過(guò)濾器或過(guò)濾材料捕集粒子的計(jì)數(shù)率與上游粒子計(jì)數(shù)率的比值,或?yàn)V除質(zhì)量濃度與上游質(zhì)量濃度的比值，以％表示。
3.3
穿透率 penetration
試驗(yàn)條件下，過(guò)濾器下游粒子濃度與上游濃度的比值，以%表示。
3.4
最易穿透粒徑 most-penetrating particle size ； MPPS
對(duì)給定過(guò)濾器穿透率最高(過(guò)濾效率最低)的粒子粒徑。
注：即最難過(guò)濾粒子的粒徑。理論上講，大于或小于MPPS粒子的過(guò)濾效率都高于MPPS處的效率；實(shí)際應(yīng)用中，過(guò)濾器的MPPS是儀器測(cè)域的一個(gè)粒徑范用，而不是某個(gè)唯一粒徑。
3.5
MPPS 效率 minimum filter efficiency
試驗(yàn)條件下，過(guò)濾器效率曲線的最低點(diǎn)，即對(duì)應(yīng)MPPS處的效率值。
3.6
亞高效過(guò)濾器 sub-HEPA filter
Y-HEPA 過(guò)濾器 Y-HEPA filter
EPA 過(guò)濾器 EPA filter
試驗(yàn)風(fēng)量下MPPS效率低于99.95%但不低于85%的過(guò)濾器。
3.7
高效過(guò)濾器 high-efficiency-particulate-air
HEPA 過(guò)濾器 HEPA filter
ISO 35 H級(jí)?ISO 45 H級(jí)，試驗(yàn)風(fēng)量下MPPS效率低于99.999%但不低于99.95%的過(guò)濾器。
3.8
超高效過(guò)濾器 idtrA. low-penetration-air
ULPA 過(guò)濾器 ULPA filter
ISO 50 U級(jí)和更高級(jí)別過(guò)濾器，試驗(yàn)風(fēng)量下MPPS效率不低于99.999%的過(guò)濾器。
3.9
鈉焰法 sodium flame
檢測(cè)過(guò)濾效率的一種方法。在過(guò)濾器上游發(fā)生特定質(zhì)量中徑與特定粒徑分布的氯化鈉氣溶膠、利用火焰光度計(jì)測(cè)量過(guò)濾器上下游含鈉氣溶膠火焰特征強(qiáng)度，以確定過(guò)濾效率。
注；又稱“火焰光度計(jì)法”。
3.10
濁度計(jì)法 photometer method
在過(guò)濾器上游發(fā)生特定質(zhì)量中徑與特定粒徑分布的液態(tài)或固態(tài)氣溶膠、利用光散射原理光度計(jì)測(cè) 量過(guò)濾器上下游氣溶膠質(zhì)量濃度，以確定過(guò)濾效率的一種方法。
注：又稱“光度計(jì)法”。常用濁度計(jì)法有:傳統(tǒng)的DOP法、油霧法等。
3.11
凈化單元 fan filter nnit；FFU
將HEPA或ULPA過(guò)濾器、靜壓箱、風(fēng)機(jī)、風(fēng)速調(diào)整裝置集成在一起的過(guò)濾裝置。
注：又稱“風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元”。
3.12
預(yù)過(guò)濾器 prefilter
為保護(hù)下一級(jí)過(guò)濾器并延長(zhǎng)其使用壽命而設(shè)置的過(guò)濾器。
注：又稱“前置過(guò)濾器”。
3.13
釋氣 organic outgas
過(guò)濾器制造材料可能釋放的氣態(tài)化合物。
3.14
末端過(guò)濾器 terminal filter
送風(fēng)系統(tǒng)的最后一級(jí)空氣過(guò)濾器。
3.15
吸附容量capacity
在氣相空氣凈化設(shè)備中的過(guò)濾介質(zhì)所能容納的指定吸附質(zhì)的數(shù)量（質(zhì)量或摩爾數(shù)）。
注：在解吸過(guò)程中稱解吸容量。
3.16
去除效率 removal efficiency
空氣化學(xué)過(guò)濾器在規(guī)定的試驗(yàn)時(shí)間內(nèi)，去除氣相污染物的百分?jǐn)?shù)（％）或其濃度分?jǐn)?shù)。
3.17
壓力降 differential pressure
空氣化學(xué)過(guò)濾器前后兩端的壓力差，
3.18
保持能力retentivity
衡量吸附劑或化學(xué)過(guò)濾器抗解吸能力的參數(shù)，用剩余容量（殘留分?jǐn)?shù)）來(lái)表達(dá)。
3.19
聚四氟乙烯拉延膜濾材 ePTFE media
由聚四氟乙烯薄膜和其他輔助材料復(fù)合形成的濾材。其中，起過(guò)濾作用的材料為聚四氟乙烯拉延 形成的纖維狀多孔薄膜。
注：制作高效過(guò)濾器的聚四敘乙烯薄膜厚度約10 μm?20 μm，纖維直徑僅有數(shù)十納米，因此有時(shí)稱“膜過(guò)濾”材料或 “納米過(guò)濾”材料。
3.20
駐極體濾材 electrete media
能夠長(zhǎng)期貯存電荷的高分子過(guò)濾材料。
4 效率分級(jí)
空氣過(guò)濾器效率分級(jí)參見附錄A。對(duì)于高效率空氣過(guò)濾器的過(guò)濾性能，本標(biāo)準(zhǔn)采用ISO 29463-1：2011規(guī)定的等級(jí)，參見A.1。
5 普通過(guò)濾器
5.1 概述
5.1.1 普通過(guò)濾器分為粗效、中效、高中效、亞高效、高效和超高效。在凈化空調(diào)系統(tǒng)中粗效、中效、高中效作為預(yù)過(guò)濾器，保護(hù)其后的各種部件的功能和保護(hù)高效過(guò)濾器和超高效過(guò)濾器。
5.1.2 高效和超高效過(guò)濾器的功能和作用是保證生產(chǎn)工藝對(duì)環(huán)境所要求的潔凈度等級(jí),要將其設(shè)置在系統(tǒng)的末端。
5.2 末端高效率過(guò)濾器
5.2.1 過(guò)濾效率
通常,ISO 6級(jí)以及更低級(jí)別的非單向流潔凈室，末端過(guò)濾器的過(guò)濾效率不低于ISO 35 H級(jí)（對(duì)最易穿透粒徑粒子的過(guò)濾效率不低于99.95%）。若用戶與供貨商協(xié)商同意，也可以使用鈉焰法、氣溶膠濁 度計(jì)法或其他方法，其最低效率不低于99.97%或其他約定值。
ISO 5級(jí)潔凈室的末端過(guò)濾器的過(guò)濾效率不低于ISO 40 H級(jí)（對(duì)最易穿透粒徑粒子的過(guò)濾效率不 低于99.99%）。若用戶與供貨商協(xié)商同意，也可以使用對(duì)0.3粒子效率不低于99.99%的過(guò)濾器。
ISO 4級(jí)以及更高級(jí)別潔凈空，末端過(guò)濾器一般采用ULPA過(guò)濾器，其過(guò)濾效率不低于ISO 50 U 級(jí)［MPPS處過(guò)濾效率不低于99.999%）。
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