1 總 則
1.0.1 為在潔凈室及相關受控環境(第3章起簡稱潔凈室)的施工及驗收中,貫徹國家有關的方針政策,規范施工要求,統一檢驗方法,明確驗收標準,以保證施工和安裝質量,達到節能、 節材、節水、保護環境和安全操作的目的,制定本規范。
1.0.2 本規范適用于新建和改建的、整體和裝配的、固定和移動的潔凈室及相關受控環境的施工及驗收。
1.0.3 潔凈室及相關受控環境的施工及驗收,應符合下列規定:
1 由具有建設主管部門批準的專業資質的施工企業,按批準的文件和圖紙施工,施工人員均應經過有關潔凈室的施工、驗收規范的培訓及考核,特殊工種應持有上崗證,并應由具有專業 監理資質和經過專業培訓的監理機構實行全過程監理。
2 施工前應制定施工組織設計。施工中各工種之間應密切 配合,按程序施工。沒有圖紙、技術要求和施工組織設計的工程項目不應施工。工程施工中需修改設計時應有設計單位的變更文 件。對沒有竣工圖紙的工程項目不應進行性能驗收。
3 工程所用的材料、設備、成品、半成品的規格、型號、性能及技術指標均應符合設計和國家現行有關標準的要求,并有齊全合法的質量證明文件。對質量有疑義的,必須進行檢驗。過期材料不得使用。
4 分部分項工程或工程中的復雜工序施工完畢后,應進行分項驗收,分項驗收不合格的必須返工直至合格,并記錄備案。
1.0.4 本規范應與現行國家標準《建筑工程施工質量驗收統一標準》GB 50300配套使用。
潔凈室及相關受控環境的施工及驗收,除執行本規范外,還應符合國家現行有關標準的規定。
2 術 語
2.0.1 潔凈室及相關受控環境 cleanrooms and associated controlled environment
潔凈室及其附屬的、輔助的、相聯系的開放或封閉的內部或周邊空間,該空間的懸浮微粒濃度等參數也受到符合相關標準的控制。
3.0.2 單向流潔凈室 unidirectional airflow cleanroom
由方向單一、流線平行并且速度均勻穩定的單向流流過房間工作區整個截面的潔凈室口
2.0.3 非單向流潔凈室 non-unidirectional airflow cleanroom
是指流線不平行、方向不單一、速度不均勻而且有交叉回旋的紊亂氣流流過房間工作區整個截面的潔凈室。亦稱亂流潔凈室。
2.0.4 混合流潔凈室 mixed airflow cleanroom
同時分別存在單向流和非單向流兩種氣流流型的潔凈室。
2.1.5 微粒 particle
懸浮在空氣中的、固態的或液態的、活性的或非活性的物質,其粒徑(對本標準而言)在10nm?1002m的范圍。
2.2.6 氣溶膠 aerosol
在空氣中懸浮的微小固體或液體微粒的分散系。
2.0.7 生物氣溶膠 bio-aerosol
散布于氣態環境中的生物介質。
2.0.8 浮游菌 airborne bacteria
懸浮在空氣中的帶菌微粒。
2.0.9 沉降菌 scttlemental bacteria
降落在表面上的帶菌微粒。
2.0.10 測試用氣溶膠test aerosol
呈氣態懸浮的固體或液體的微粒,其粒徑分布和濃度已知且受控。
2.0.11 泄漏 leak
空氣過濾器系統因完整性不佳或有缺陷所引起的污染物透過,透過的污染物超過下風向濃度預計值。
2.0.12 檢漏 leak test
找到過濾器和機組部件泄漏的方法,即使用氣溶膠光度計或光學粒子計數器以相互重疊的掃描區域掃描通過測試區。
2.0.13 過濾器安裝后泄漏測試 installed filter leakage test
為確認過濾器安裝良好所進行的測試。測試時要驗證設施沒有旁路滲漏,過濾器及過濾器和安裝框架間的密封面沒有缺陷和泄漏。
2.0.14 靜態 at-rest
全部建成且設施齊備,凈化空調系統運行正常,現場沒有人員。此時生產設備已安裝完畢而未運行的潔凈室狀態;或生產設備停止運行并進行自凈達到規定時間后的潔凈室狀態;或正在按 建設方(用戶)和施工方商定的方式運行的潔凈室狀態。是潔凈 室的三種占用狀態(空態、靜態、動態)之一。 .
2.0.15 高純氣體 ultrapure gas
氣體成分純度大于或等于99.9995%,含水量小于5ppm的氣體。
2.0.16 純化水purity water (去離子水或深度脫鹽水)
指溫度25℃時,電阻率大于0.1×106Ω?cm的水。
2.0.17 高純水(注射用水)ultrapure water
指溫度25℃時,電阻率大于0.1×106Ω?cm,水中大于或 等于0.5μm的塵粒小于300粒/mL,活微生物小于9個/mL的 純水。
2.0.18 大(宏)粒子 macroparticle
當量直徑大于5μm的微粒。
2.0.19 超微粒子 ultrafine particle
當量直徑小于0.1μm的微粒。
2.0.20 永久氣體 permanent gas
臨界溫度低于-10℃的氣體,如空氣、氧、氮、氮、甲烷、一氧化碳等。
2.0.21 特種氣體 special gas
畝滿足特定用途的氣體,包括單一氣體或混合氣體。單一氣體有259種,其中電子氣體115種,有機氣體63種,無機氣體35種,鹵碳素氣體29種,同位素氣體17種。
2.0.22 醫用氣體 medical gas
符合醫療相關規定要求,供治療、診斷、預防等醫學方面使用的氣體。
2.0.23 潔凈氣體 clean gas
單位體積所含微粒的數量小于或等于使用此氣體的潔凈環境潔凈度的常用氣體。
2.0.24 分子態污染物 airborne molecular contamination, AMC
含在空氣中的具有分子量級的污染物,如酸性氣體、堿性氣體、凝聚性有機物質、用于半導體的摻雜物、高揮發性有機物質 和分子級的金屬等。
3 建筑結構
3.1 一般規定
3.1.1 潔凈室結構工程施工前應編制施工組織設計或施工方案, 并與潔凈室施工配合。
3.1.2 在主體結構未經驗收前,不得進行后續工序的施工。
3.2 結構施工要求
3.2.1 裝配式混凝土結構的潔凈室,應在預制構件上按設計圖紙預留孔、洞。
3.2.2 有耐壓、防滲漏要求潔凈室的混凝土施工應按設計要求采用抗滲混凝土,并應制定配合比操作程序,按相關要求先做試塊的抗滲試驗,澆筑后應分層搗實,加強養護管理。
3.2.3 潔凈區內的現澆混凝土剪力墻模板不宜采用拼縫較多的組合鋼模板,宜采用大尺寸硬木面層厚型膠合板。
3.2.4 對大面積潔凈空間采用的結構模板,應分區設控制點, 多級復核。應防止建筑模板受潮起拱。宜采用清水混凝土精細施工,應隨搗隨抹光,一次性達到建筑設計標高。模板的密封膠填 縫與固定應同時進行,不得遺漏。
3.2.5 砌體施工質量控制等級應滿足現行國家標準《砌體工程施工質量驗收規范》GB 50203第3.0.10條的A級要求。
3.2.6 對分割潔凈室相關受控環境的空間成為各自獨立密封體到頂的填充墻,墻體(板)與梁、板底的縫隙應填充密實,并應作密封處理。
3.2.7 高大潔凈空間內的鋼結構施工應嚴格控制構件的尺寸偏差,對設計不要求留縫的節點,應在鋼結構主體驗收合格后用密封材料堵嚴。鋼結構表面的防腐、防火涂料不得漏涂。
3.2.8 既有建筑改造為潔凈室時,應對原有建筑進行結構驗算, 并應仔細檢查原有結構,對原結構中出現的裂縫或縫隙應采取措施進行加固或密封。
3.3 分項驗收
3.3.1 結構施工應按分項工程施工工藝規程進行并驗收。
3.3.2 結構施工應在地基基礎、主體結構、二次結構完成后, 進行分項驗收。
3.3.3 結構施工分項驗收應包括以下主控項目:
1 混凝土結構表面應平整、無裂縫、無麻面、無掉皮、無起沙。
檢驗方法:觀察。
檢驗數量:全數檢查。
2 填充墻應與周圍結構嚴密接觸。
檢驗方法:觀察。
檢驗數量:全數檢查。
3 暴露在潔凈區內的鋼構件表面防腐涂料應進行涂層附著力檢測。
檢驗方法:按照現行國家標準《漆膜附著力測定法》 GB 1720或《色漆和清漆、漆膜的劃格試驗》GB 9286執行。
檢驗數量:按構件數抽查2%,且不應少于3件,每件測3處。
4 暴露在潔凈區內的鋼結構防火涂料應抽檢粘結強度、抗壓強度,并應符合有關鋼結構防火涂料應用技術規程的規定。
檢驗方法:檢查復檢報告或按現行國家標準《建筑構件防火 噴涂材料性能試驗方法》GB 9978的規定抽測。
檢驗數量:查閱全部測試報告或抽測不少于2次。
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