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GB/T 25915.8-2021 潔凈室及相關受控環境 第8部分:按化學物濃度劃分空氣潔凈度ACC等級

發布時間:2022-05-09 10:06人氣:

1 范圍

      GB/T 25915本部分依據潔凈室及相關受控環境空氣中具體化學物質(種、組、類)的 濃度,對空氣化學污染(ACC)進行分級。同時,本部分在分級技術要求中,給出了包括檢測方法、分析方法和時間加權系數在內的規程。

      本部分目前只考慮潔凈室運行工況下空氣中100 g/m3~10-12 g/m3的化學污染物濃度。

      本部分不涉及那些空氣中雖有化學物質存在、但不認為對產品或工藝有危害風險的行業、 工藝和生產。

      本部分無意探討空氣化學污染物的特性。

      本部分不包含對表面化學污染的分級。

2 規范性引用文件

      下列文件對于本文件的應用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。

3 術語和定義

      GB/T 25915.6-2010/IS014644-6:2007, IDT《潔凈室及相關受控環境——第6部分:詞 匯》中界定的以及下列術語和定義適用于本文件。

3.1 一般術語

3.1.1

      化學污染 chemical contamination

      危害產品、工藝、設備的非顆粒物質。

3.1.2

      按化學物濃度劃分空氣潔凈度 ACC  air cleanliness by chemical concentration

      以ISO-ACC表示的、按化學物濃度劃分空氣潔凈度的結果,代表了給定的某種或某組 化學物種類、以克每立方米為單位的最大允許濃度。

      注1:生物大分子歸為粒子,不包含在本定義中。

3.1.3

      空氣化學污染 air chemical contamination

      存在于空氣中、其化學特性可對產品、工藝、設備有不良影響的任何物質。

3.1.4

      按化學物濃度劃分表面潔凈度 SCC- surface cleanliness by chemical concentration 以化學物濃度所表示的表面潔凈度狀況。

3.1.5

      表面化學物濃度 surface chemical concentration

      存在于表面上、因所具有的化學特性可對產品、工藝、設備有不良影響的任何物質。

3.1.6

      污染物類別 contaminant category

      沉積在關注表面時有特定和類似危害結果的一組化合物的統稱。

3.1.7

      釋放氣體 out-assinq

      從材料中釋放出氣態或蒸汽態分子物質。

3.1.8

      按化學物濃度等級劃分空氣潔凈度(ACC) air cleanliness by chemical concentration(ACC) class

      表示某給定的化學物種類或某組化學物種類的最大允許濃度的、以克每立方米為單位的分級數字。

      注1:最大允許濃度規定見表1,或按4.2節中的等式標定N。

      注2:按GB/T 25915/ISO 14644本部分的分級僅限于0(潔凈度最差)至-12(潔凈度最佳)級。

      注3: ACC等級數字只有與規定了相應的化學物種類或成組化學物類別的ACC描述符一起使用時才有效。

      注4:空氣化學物潔凈度級別負號(-1至-12)是ACC等級數字N的組成部分,并必須注明。空氣化學物潔凈度必須有負號(0級除外)。

      注5: ISO分級可以是小數點后保留1位數字的非整數數字。

3.2 污染物類別

3.2.1

      酸 acid

      化學反應特性為接受電子對并建立新化學鍵的物質。

3.2.2

      堿 base

      化學反應特性為給出電子對并建立新化學鍵的物質。

3.2.3

      生物毒素 biotoxic

      危害生物、微生物、生物組織或細胞個體生長與存活的物質。

3.2.4

      可凝聚物 condensable

      可在潔凈室運行狀態下因凝結而沉積在表面上的物質。

3.2.5

      腐蝕劑 corrosive

      使表面產生破壞性化學變化的物質。

3.2.6

      摻雜物 dopant

     經產品本體吸 收或(和)經擴散后與本體合為一體,即使為微量亦可改變材料特性的物質。

3.2.7

      有機物 organic

      以碳為基本元素,含氫,含或不含氧、氮等其他元素的物質。

3.2.8

      氧化劑 oxidant

      沉積在關注表面或產品上后,形成氧化物(O2/O3)或參與氧化還原反應的物質。

4 分級

4.1 概述

      應按4.2給出的分級描述符表示分級。描述符的形式為“ISO-ACC”,它明確了空氣中某類污染物、某種污染物、或某組污染物的最大允許濃度。

4.2 ISO-ACC描述符格式

      ACC等級數字只有與該等級所適用的、由ISO-ACC描述符所說明的某類污染物、某種污染物、或某組物質一起使用時方為有效。

      ISO-ACC描述符的格式為:

      ISO-ACCN(X)級

      其中:

      x——是某化學物質或一組化學物質,至少包括:

      酸(ac);

      堿(ba);

      生物毒素(bt);

      可凝結物(cd);

      腐蝕物(cr);

      摻雜物(dp);

      有機物總量(or);

      氧化劑(ox);

      或一組物質,或某種物質。

      N—ISO-ACC等級,它是濃度Cx的常用對數值,其范圍為0 ~ T2, Cx的單位為g/m3

      N可以是小數點后保留一位數的非整數等級;

      N= log10[Cx];

      例1:樣本為n-甲基毗咯烷酮(NMP),空氣污染物所測值為8E-7g/m3, n=-6,097,處 于-6級的E-6/m3的等級限值之內。

      表述為:ISO-ACC-6 級[NMP]

      例2:樣本為有機化合物,總有機化合物(TOC)的實測值為6E-5g/m3,處于-4級lE-4g/m3

 

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