電子工業(yè)潔凈廠房防靜電措施設(shè)計要求

電子工業(yè)潔凈廠房防靜電措施設(shè)計要求如下：

1. 潔凈廠房防靜電環(huán)境中，防靜電地面的面層結(jié)構(gòu)和材料應(yīng)符合下列要求：

      （1）防靜電地面面層的選擇，應(yīng)滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的要求；

      （2）防靜電地面的表層應(yīng)采用靜電耗散性材料，靜電耗散性材料表面電阻率應(yīng)為2.5×10⁴～1×10⁹Ω；

      （3）防靜電地面應(yīng)設(shè)置導(dǎo)靜電泄放設(shè)和接地連接，其地面對地泄放電阻值應(yīng)為1×10⁵～1×10⁸Ω。

2. 潔凈廠房防靜電環(huán)境的吊頂、墻面和柱面的裝飾設(shè)計，應(yīng)符合下列要求：

      （1） 一級防靜電工作區(qū)的地面、墻面和柱面應(yīng)采用導(dǎo)靜電型。導(dǎo)靜電型地面、墻面、柱面的表面電阻、對地電阻應(yīng)為2.5×10⁴～1×10⁶Ω，摩擦起電電壓不應(yīng)大于100V，靜電半衰期不應(yīng)大于0.1s;

      （2） 二級防靜電工作區(qū)的地面、墻面、柱面、頂棚、門和軟簾應(yīng)采用靜電耗散型。靜電耗散型地面、墻面、柱面和頂棚、門的表面電阻、對地電阻應(yīng)為1×10⁶～1×10⁹Ω，摩擦起電電壓不應(yīng)大于200V，靜電半衰期不應(yīng)大于1s，但軟簾的摩擦起電電壓不應(yīng)大于300V;

      （3） 三級防靜電工作區(qū)的地面、墻面和柱面宜根據(jù)生產(chǎn)工藝要求采用靜電耗散型材料或低起電材料，頂棚、門等宜采用低起電材料。選用靜電耗散型材料的地面、墻面和柱面，應(yīng)符合本條第2款的要求；選用低起電材料的地面、墻面、柱面、頂棚、門等的摩擦起電電壓不應(yīng)大于1000V。

3. 潔凈廠房防靜電環(huán)境的門窗設(shè)計，應(yīng)符合下列要求：

      （1） 應(yīng)選用靜電耗散材料制作門窗或采用耗散材料貼面；

      （2） 金屬門窗表面應(yīng)涂刷靜電耗散性涂層，并應(yīng)接地；

      （3） 室內(nèi)隔斷和觀察窗安裝大面積玻璃時，玻璃表面應(yīng)粘貼靜電耗散性透明薄膜或噴涂靜電耗散性涂層。

4. 潔凈廠房防靜電環(huán)境的裝修設(shè)計應(yīng)符合下列要求：

      （1） 各類裝修材料應(yīng)具有表面靜電耗散性能，不得使用未經(jīng)表面改性處理的高分子絕緣的裝飾材料；

      （2） 各類裝修的飾面應(yīng)平整光滑。

5. 潔凈廠房防靜電環(huán)境的凈化空調(diào)系統(tǒng)送風口和風管，應(yīng)選用導(dǎo)電材料制作，并應(yīng)接地。

6. 潔凈廠房防靜電環(huán)境的凈化空調(diào)系統(tǒng)、各種配管使用部分絕緣性材質(zhì)時，應(yīng)在其表面安裝金屬網(wǎng)，并應(yīng)將其接地。當使用導(dǎo)電性橡膠軟管時，應(yīng)在軟管上安裝與其緊密結(jié)合的金屬導(dǎo)體，并應(yīng)采用接地引線與其可靠連接接地。

7. 潔凈廠房防靜電環(huán)境中，應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝的需要設(shè)置靜電消除器、防靜電安全工作臺。