一、潔凈室氣密性檢測(cè)方法原理
1. 保持室內(nèi)為正壓或負(fù)壓均能滿足檢驗(yàn)要求，但條件允許時(shí)，負(fù)壓潔凈室宜用正壓檢驗(yàn)，正壓潔凈室宜用負(fù)壓檢驗(yàn)。
2. 可按以下方法進(jìn)行檢測(cè)：
（1） 壓力衰減法
使室內(nèi)達(dá)到某一壓力（正壓或負(fù)壓），關(guān)閉加壓或抽負(fù)壓系統(tǒng)，觀察壓力隨時(shí)間衰減的情況，記錄下壓力衰減到起始?jí)毫Φ囊话霑r(shí)所用的時(shí)間，即為測(cè)量室內(nèi)正壓或負(fù)壓的半衰期。
（2） 恒壓法
使室內(nèi)達(dá)到某一正壓，同時(shí)向室內(nèi)補(bǔ)氣，使室壓達(dá)到要求的穩(wěn)定值而不下降時(shí)的補(bǔ)氣量即為漏泄量。使室內(nèi)達(dá)到某一負(fù)使室壓維持要求的穩(wěn)定值而不下降時(shí)的抽氣量即為漏泄量。
二、壓力衰減法
1. 測(cè)試系統(tǒng)如圖G.2.1所示。
2. 可按以下步驟進(jìn)行檢測(cè)
（1） 將所測(cè)潔凈室的溫度控制在設(shè)計(jì)范圍內(nèi)并保持穩(wěn)定，記錄壓力衰減測(cè)試過程中室內(nèi)溫度的變化（溫度計(jì)或溫度傳感器的最小示值不宜大于0.1℃）。
（2） 關(guān)閉所測(cè)潔凈室圍護(hù)結(jié)構(gòu)上的門、傳遞窗等，關(guān)閉回風(fēng)管（或排風(fēng)管）上的氣密閥門，不得在風(fēng)口上加其他密封措施，并維持各種孔洞縫隙的密封現(xiàn)狀。
（3） 開啟送風(fēng)，使室內(nèi)壓力上升至已商定的測(cè)試壓力（壓力計(jì)量程至少為測(cè)試壓力的1.5倍，最小示值不宜大于10Pa），壓力穩(wěn)定后，停止送風(fēng)，關(guān)閉送風(fēng)閥門。
圖G.2.1 壓力衰減法系統(tǒng)
1-潔凈室；2-送風(fēng)機(jī)；3一調(diào)節(jié)閥；4-密閉閥；5--微壓計(jì)；6一排風(fēng)機(jī)
（4） 或反之關(guān)閉送風(fēng)管上的閥門，如果送風(fēng)管上無(wú)閥或閥不嚴(yán)，應(yīng)在送風(fēng)口上用塑料膜加盲板的方法封住風(fēng)口，開啟排風(fēng)，使室內(nèi)壓力下降至已商定的測(cè)試壓力，壓力穩(wěn)定后，停止排風(fēng)，關(guān)閉排風(fēng)氣密閥門。
（5） 從停止送（排）風(fēng)起，記錄壓力隨時(shí)間衰減的數(shù)據(jù)，每1min記錄1次壓差和溫度，連續(xù)記錄至室內(nèi)壓力下降至初始?jí)毫Φ囊话霑r(shí)止。
（6） 測(cè)試結(jié)束后慢慢打開風(fēng)閥，使房間壓力恢復(fù)到正常狀態(tài)。
（7） 如果需要進(jìn)行重復(fù)測(cè)試，20min后進(jìn)行。
（8） 當(dāng)不用風(fēng)機(jī)時(shí)也可用空氣壓縮機(jī)或真空泵。
3. 檢測(cè)報(bào)告應(yīng)包括以下內(nèi)容：
（1） 檢測(cè)條件，包括室內(nèi)溫度等。
（2） 檢測(cè)方法包括檢測(cè)所用儀器設(shè)備規(guī)格型號(hào)及精度；所測(cè)潔凈室壓力、溫度的動(dòng)態(tài)變化；檢測(cè)持續(xù)的時(shí)間。
（3） 檢測(cè)結(jié)果包括所測(cè)潔凈室壓力下降至初始?jí)毫Φ?／2時(shí)的時(shí)間內(nèi)壓力衰減率；所測(cè)潔凈室圍護(hù)結(jié)構(gòu)嚴(yán)密性的評(píng)價(jià)。
三、恒壓法
1. 測(cè)試系統(tǒng)如圖G.3.1所示。
圖G.3.1 恒壓法測(cè)試系統(tǒng)
1-潔凈室；2-送風(fēng)機(jī)；3-調(diào)節(jié)閥；4-密閉閥；5-微壓計(jì)；6-排風(fēng)機(jī)；7-氣泵；8-流量計(jì)；9-真空泵
注：正壓檢驗(yàn)時(shí)用氣泵，負(fù)壓檢驗(yàn)時(shí)用真空泵
2. 可按以下步驟進(jìn)行檢測(cè)：
（1） 將所測(cè)潔凈室的溫度控制在設(shè)計(jì)范圍內(nèi)并保持穩(wěn)定，記錄測(cè)試過程中室內(nèi)溫度的變化（溫度計(jì)或溫度傳感器的最小示值不宜大于0.1℃）。
（2） 關(guān)閉所測(cè)潔凈室圍護(hù)結(jié)構(gòu)上的門、傳遞窗等，關(guān)閉回風(fēng)管（或排風(fēng)管）上的閥門，如果風(fēng)管上無(wú)閥或閥不嚴(yán)，應(yīng)在回風(fēng)口（或排風(fēng)口）上用塑料膜加盲板的方法封住風(fēng)口。
（3） 開啟送風(fēng)，使室內(nèi)壓力上升至500Pa，停止送風(fēng)，關(guān)閉送風(fēng)閥門。
通過圍護(hù)結(jié)構(gòu)上的孔洞和導(dǎo)管，由送風(fēng)機(jī)或空氣壓縮機(jī)向室內(nèi)補(bǔ)氣，通過調(diào)節(jié)安裝在導(dǎo)管上的調(diào)節(jié)閥調(diào)整補(bǔ)氣流量，以維持潔凈室內(nèi)的壓力穩(wěn)定不下降，每隔1min記錄一次補(bǔ)氣管路上浮子流量計(jì)讀數(shù)，此數(shù)即為漏氣量，測(cè)試持續(xù)的時(shí)間宜不超過5min，取平均值。
（4） 反之關(guān)閉送風(fēng)閥，開啟排風(fēng)，當(dāng)內(nèi)壓力下降至-500Pa時(shí)關(guān)閉排風(fēng)，開啟真空泵保持室內(nèi)壓力，記錄真空泵抽氣量，此數(shù)即漏泄量。
（5） 測(cè)試結(jié)束后慢慢打開風(fēng)閥，使房間壓力恢復(fù)到正常狀態(tài)。
（6） 如果需要進(jìn)行重復(fù)測(cè)試，20min后進(jìn)行。
（7） 當(dāng)不用風(fēng)機(jī)時(shí)也可用空氣壓縮機(jī)或真空泵。
3. 檢測(cè)報(bào)告應(yīng)包括以下內(nèi)容：
（1）檢測(cè)條件，包括室內(nèi)溫度等。
（2） 檢測(cè)方法包括檢測(cè)所用儀器設(shè)備規(guī)格型號(hào)及精度；室內(nèi)溫度的動(dòng)態(tài)變化；漏泄量的動(dòng)態(tài)變化。
（3） 檢測(cè)結(jié)果包括所測(cè)潔凈室5min內(nèi)的每小時(shí)漏泄率；所測(cè)潔凈室圍護(hù)結(jié)構(gòu)嚴(yán)密性的評(píng)價(jià)。
四、潔凈室氣密性檢測(cè)安全要求
1. 應(yīng)制定防范預(yù)案。
2. 必須對(duì)被檢驗(yàn)室內(nèi)的溫度進(jìn)行監(jiān)測(cè)。
3. 恒壓法測(cè)試持續(xù)時(shí)間不宜太長(zhǎng)。
