潔凈室分子態污染物檢測方法

一、潔凈室分子態污染物（AMC）

      分子態污染物主要包括以下四種：

      （1）酸性氣體（表示為A）：N_O4、SO_x、HF、HCl、H₂SO₄等。

      （2）堿性氣體（表示為B）：NH₃

      （3）凝聚性有機物（表為C）：在常溫常壓下容易凝結在物體表面的有機物，包括碳氮化合物、硅氧化物、氟高分子有機物等。

      （4）金屬摻雜物（表示為D）：Fe、Na、K、Ca、Zn、Al、Br等。

二、潔凈室分子態污染物檢測方法

      分子態污染物可采用以下采樣方法和分析方法：

      （1）采樣方法包括被動式采樣方法和主動式采樣方法。前者采樣周期較長，后者要有較復雜的儀器。

      主動式采樣方法包括：撞擊法、吸附管法、擴散采樣分析法、過濾器收集法、采樣袋（罐）法、晶圓片或平板法、液滴掃描提取法等。

      （2）空氣分子態污染物濃度的分析法包括在線分析法和離線分析法。

      在線分析法可用磁帶記錄法、紫外線照射法、轉筒式化學浸漬濾紙分析儀（CPR）上比色檢測法、離子遷移率色譜（IMS）法、便攜式氣相色譜儀（PGC）法、離子色譜監控（ICS）法、化學發光監控（CLS）法、表面聲波（SAW）等專用儀器直接測定分子濃度。但應注意儀器的測定下限和測量范離線分析法，應在主動采樣完畢經實驗室分析后得出各種成分濃度。

三、撞擊采樣法

1. 撞擊采樣法適用于檢測空氣中的陰陽離子（Li⁺、Na^＋、K⁺、Ca²⁺、Mg²⁺、Fe²⁺、Br^-、Cl^-、NH₄⁺、SO₄^2-、PO₄^3-、 NO₃^-等）的濃度。檢測限值可按表H.3.1執行。

表H.3.1 撞擊法檢測極限值

       注：體積濃度ppb的量級為10^-9，重量濃度ng的量級為10^-12。

2. 撞擊采樣法可采用如下設備和材料：

（1）測定設備如圖H.3.2所示。

圖H.3.2 撞擊采樣法示意

1一氣泵；2一去濕管；3一超純水；4一采樣瓶；5-進氣口

      （2）離子色譜分析儀。

      （3）超純水。

3. 撞擊采樣法可按以下步驟進行：

      （1）測定前的所有準備工作必須在5級潔凈環境中進行，所使用的超純水必須保存在5級潔凈度環境中不被污染，必須保存足夠的量以供分析對比使用。

      （2） 采樣瓶內注入30mL超純水，用管子按圖H.3.2所示將各部分連接起來。去濕管是為了保證沒有水滴被吸入采樣泵。

      （3） 開動氣泵吸入空氣，使空氣不斷和瓶中的超純水碰撞，空氣中的成分溶解于純水。

      （4） 氣泵事先必須經過校驗，采樣的流量為90L/h，采樣時間（8～12）h，以達到最低檢測限度為準。采樣后水樣必須在（6～12）℃范圍內保存和運輸，在7d內送到實驗室分析。

      （5） 用離子色譜分析儀檢測水樣中各種成分的含量。若檢測成分多，必須采取足夠的水樣。

四、吸附管采樣法

1. 吸附管采樣法適用于檢測空氣中的易揮發和不穩定物質的濃度。

2. 吸附管采樣法可采用以下設備和材料：

      （1）測定設備如圖H.4.1所示。

圖H.4.1 吸附管采樣法示意

1一吸附管；2一氣泵；3-調節閥；4-流量計

      （2） 氣相色譜質譜儀。

      （3） 吸附物質（TenaxTA60/80等，一種多孔狀的二苯氧化基聚酯）。

3. 吸附管采樣法可按以下步驟進行：

      （1） 測定前的所有準備工作必須在5級潔凈環境中進行。

      （2） 氣泵流量為3L/h，必須經過校驗。采樣時間（3～9）h，達到最低檢測度為準。

      （3） 采樣前后的采樣管均必須在（2～8）℃范圍內保存和運輸，在7d內送到實驗室分析。