與潔凈技術相關的一些主要概念、術語和定義如下：
（1）潔凈室 clean room
我國國家標準GB 50072-2001《潔凈廠房設計規范》將潔凈室定義為“空氣懸浮粒子濃度受控的房間”。并要求“它的建造和使用應減少室內誘入、產生及滯留粒子。室內的其他有關參數如溫度、濕度、壓力等按要求進行控制”。這一定義與最新的ISO14644國際標準的定義是一致的。定義包含了以下幾個要點：
1）潔凈室以空氣中懸浮粒子濃度為主要控制對象，明確了空氣潔凈技術的基本特征，也是潔凈室級別劃分的主要依據。隨著潔凈技術的發展和應用日益廣泛，生物潔凈室在工業潔凈室的基礎上大量出現，國標GB50073—2001也給出了生物潔凈室的定義：“潔凈室空氣中懸浮微生物控制在規定值內的限定空間”。微生物通常是依附在粒子上在空氣中運動的，所以控制微生物的凈化措施與工業潔凈室一樣也要依靠粒子過濾器。從這一點上講，上述潔凈室的定義可以包括工業和生物潔凈室。
2）指明了空氣潔凈技術所依據的基本原理，即：防止粒子從外部進入室內；防止室內產生粒子；及時排除已進入室內的或從室內產生的粒子。為保證潔凈室內空氣中的粒子濃度不超過標準，建筑、布局、工藝流程、人物流、材料、設備及凈化空調系統所采取的設計方案、技術措施和運行管理都應遵循這一基本原理。
3）明確了根據不同的應用要求及控制級別對其它有關參數的控制要求。其中除了包括一般空調系統所應控制的溫度、濕度、壓力、流速等參數外，還可能有對AMC、靜電、噪聲等的控制要求。即使對常規控制參數（如溫濕度和空氣流速等）也提出不同的控制精度。
（2）潔凈區 clean zone
空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間。它的建造和使用應減少室內誘入、產生及滯留粒子。室內的其他有關參數如溫度、濕度、壓力等按要求進行控制。潔凈區可以是開放式或封閉式。
（3）粒徑 particle size
實際粒子大多不是標準的球形，所以通常所說的粒徑是“由給定的粒子尺寸測定儀響應當量于被測粒子等效的球體直徑”。同一種粒子用不同的測定儀器和測定方法測得的粒徑是不一樣的，所以在潔凈室相關的粒子測定時應規定所使用的儀器與方法。
（4）懸浮粒子 airborne particle
用于空氣潔凈度分級的空氣中懸浮粒子尺寸范圍在0.1~5μm的固體和液體粒子。空氣中實際懸浮粒子的粒徑分布遠超過此范圍，但大于5μm的粒子（稱為微粒子macro particle）因很容易被除去，所以不在潔凈度分級要考慮的范圍內。另外，不要將粒子僅局限于固態的“粉塵”，液態粒子同樣屬于控制對象。
（5）潔凈度cleanliness
以單位體積空氣中懸浮粒子的數量（允許顆粒數）來區分的潔凈程度。以前習慣采用英制單位——顆/立方英尺（pc/ft3），自國際標準頒布后，應采用國際單位制——顆/立方米（pc/m3）。
（6）單向流unidirectional airflow
沿單一方向呈平行流線并且橫斷面上空氣流速一致的氣流。以前曾習慣地稱為“層流”，但由于它實際上并不是流體力學中所規定的“層流”，所以現在定義為“單向流”。根據工程中的應用方式可以包括“垂直單向流”和“水平單向流”。
（7）非單向流non-unidirectional airflow
凡不符合單向流定義的其他氣流流型。在實際工程中還可以將單向流和非單向流氣流流型組合應用，稱為“混合流”。
（8）空態 as-built
潔凈室設施已經建成，所有動力接通并運行，但無生產設備、材料及人員的狀態。
（9）靜態 at-rest
潔凈室設施已經建成，生產設備已安裝，并按業主及供應商同意的狀態運行，但無生產人員的狀態。
（10）動態operational
設施以規定的狀態運行，有規定的人員在場，并在商定的狀況下進行工作的狀態。
規定潔凈室的“狀態”主要是考慮到設計和竣工驗收的需要，由于不同狀態下實際的空氣潔凈度是不同的，所以業主及供應商必須預先商定驗收狀態。
