1 范圍
本標準給出了潔凈室及相關受控環境控制靜電的術語和定義、靜電控制、培訓與規范等要求。
本標準適用于潔凈室及相關受控環境的靜電控制。
2 規范性引用文件
下列文件對于本文件的應用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。
GB 4824—2013 工業、科學和醫療(ISM)射頻設備 騷擾特性 限值和測量方法
GB/T 18202 室內空氣中臭氧衛生標準
GB 50073—2013 潔凈廠房設計規范
IEC 61340-5-1 電子設備的靜電防護 通用要求(Protection of electronic devices from electrostatic phenomena-General requirements)
IEC/TR 61340-5-2 電子設備的靜電防護 用戶指南(Protection of electronic devices from electrostatic phenomena—User guide)
IEC 61340-5-3 電子設備的靜電防護 靜電敏感設備包裝特性和要求分級(Protection of electronic devices from electrostatic phenomena-Properties and requirements classification for packaging intended for electrostatic discharge sensitive devices)
3 術語和定義
下列術語和定義適用于本文件。
3.1
靜電耗散材料 static-dissipative materials
表面電阻率在105Ω?1012Ω之間，或體積電阻率在104 Ω?cm?1011 Ω?cm之間的材料。
3.2
靜電場 electrostatic field
靜電荷在其周闈所激發的電場，基本特征是在壓差作用下，對位于該場中的其他電荷施以作用力。
注：改寫 GB/T 15463—2008,定義 3.3。
3.3
靜電勢 electrostatic potential
一點與另一個規定參照點之間的電位差。
3.4
靜電控制 electrostatic charge control ； ESCC
對于定產品或工藝，將靜電效應控制在允許限度之下的，由設施、材料、附件、操作規程構成的系統。
3.5
靜電放電 electrostatic discharge ； ESD
靜電勢不同的物體,因接近或接觸導致靜電荷的轉移。
3.6
靜電放電控制 electrostatic discharge control； ESDC
限制或消除靜電荷的傳遞。
3.7
衰減時間 decay time
靜電勢衰減至初始值的某一規定比值（一般規定為初始值的10%）所消耗的時間。
4 靜電控制
4.1 靜電來源、危害及監測
4.1.1 來源
常見的靜電來源有:工藝設備、某些塑料、人的活動。絕緣體（通常為合成材料）上的電荷不易轉移, 若不與其他導體接觸，絕緣體上的靜電電壓可能非常高。
表1列出受控環境中容易出現靜電的地方。
表2列出因人的活動產生的靜電電壓。
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