1 范圍
本標準給出了潔凈室及相關受控環境的檢測要求、基本儀器配置和技術要求。
本標準適用于潔凈室及相關受控環境的檢測技術分析與應用。
2 規范性引用文件
下列文件對于本文件的應用是必不可少的。凡是注日期的引用文件.僅注日期的版本適用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。
GB/T 25915.1—2010潔凈室及相關受控環境 笫1部分:空氣潔凈度等級
3 術語和定義
下列術語和定義適用于本文件。
3.1
單向流 unidirectional airflow
通過潔凈區整個斷面、風速穩定、大致平行的受控氣流。
注：這種氣流可定向清除潔凈區的粒子。
3.2
單向流 non-unidircctional airflow
送入潔凈區的空氣以誘導方式與區內空氣混合的一種氣流分布。
3.3
離散粒子計數器 discrete-particle counter；DPC
可顯示并記錄確定體積空氣中離散粒子數量和苴徑（可辨別粒徑）的儀器。
3.4
測試氣溶膠 test aerosol
具有已知并受控的粒徑分布及濃度的固體和（或）液體粒子的氣態懸浮物。
3.5
氣溶膠發生器 aerosol generator
能以加熱、液壓、氣動、超聲波、靜電等方式生成濃度恒定、粒徑范圍適當的（例如，0.05 μm?2 μm） 微粒物質的器具。
3.6
氣溶膠光度計 aerosol photometer
利用光散射原理、用前散射光腔測量空氣懸浮粒子質量濃度的儀器。
3.7
已裝過濾系統 installed filter system
已安裝在頂棚、側墻、裝置、風管上的過濾系統。
3.8
已裝過濾系統檢漏 installed filter system leakage test
為確認過濾器安裝良好，向設施內無旁路滲漏，過濾器及其安裝框架均無缺陷和滲漏而進行的檢測。
3.9
掃描 scanning
讓氣溶膠光度計或離散粒子計數器的采樣口覆蓋面，以略右重疊的往復行程移過規定的檢測區來查找過濾器及其他部件滲漏的方法。
3.10
等動力采樣 isokinetic sampling
采樣口進氣氣流的平均風速與該位置上單向流的平均風速相等的采樣條件。
3.11
滲漏 leak
過濾系統因密封性欠佳或缺陷使污染物漏出，造成下風向濃度超過預期值。
3.12
泄漏 leak
壓差檢測所發現闈護結構的缺陷。
3.13
自凈時間 cleanliness recovery characteristic
潔凈室被污染后.凈化空調系統開始運行到恢復到穩定的規定室內潔凈度等級的時間。
3.14
閾值粒徑 threshold size
選定的最小粒徑以測量大于或等于該粒徑的粒子濃度。
4 檢測項目與相關應用領域
不同應用領域的常規檢測項目見表1。
5 檢測技術要求
5.1 檢測條件
5.1.1 已裝過濾系統檢漏合格。（過濾器出廠前應檢漏介格；已裝過濾系統檢漏可以作為單項列入檢測項口）（參見附錄C）。
5.1.2 凈化機組系統完成吹掃和調試、風速、風量及壓差符合設計要求。
5.2 技術準備
5.2.1 熟悉設施的系統及其特點。
5.2.2 確定檢測項口（包括特定要求）。
5.2.3 確定相關技術標準（包括受控文件和新頒布的技術標準）。
5.2.4 確定檢測環境的占右狀態（空態、靜態、動態）。
5.2.5 配備相關檢測儀器及輔料、配件。
5.2.6 準備檢測相關文本（布點圖、空白表格等）。
5.3 檢測儀器受控
5.3.1 儀器儀表在標定的有效期并能正常運轉,輔料在使用有效期。
5.3.2 儀表量程、靈敏度/分辨率、滿足檢測項目要求。
5.3.3 儀表準確度/測量不確定度滿足檢測項目要求。
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