1. 空氣過濾器的選用和布置應符合下列要求：
（1） 空氣過濾器應根據空氣潔凈度等級選用；
（2） 空氣過濾器的處理風量應小于或等于額定風量；
（3） 中效（高中效）空氣過濾器宜集中設置在空調箱的正壓段；
（4） 高效（亞高效）空氣過濾器宜設置在凈化空調系統(tǒng)的末端；超高效空氣過濾器應設置在凈化空調系統(tǒng)的末端；
（5） 同一凈化空調系統(tǒng)內末端安裝的高效（亞高效、超高效）空氣過濾器的阻力、效率應相近；
（6） 同一凈化空調系統(tǒng)內末端安裝的高效（亞高效、超高效）空氣過濾器的使用風量與額定風量之比值宜相近；
（7） 對化學污染物有控制要求的潔凈室（區(qū)），在凈化空調系統(tǒng)中應根據環(huán)境條件設置化學過濾器或其他去除裝置；
（8） 高效（亞高效、超高效）空氣過濾器應采用不燃或難燃材料制作。
2. 風機過濾器機組的設置應符合下列要求：
（1）應根據空氣潔凈度等級和送風量選用；
（2）應按潔凈室（區(qū)）內生產工藝對氣流流型的要求布置，
（3）終阻力時的疊加噪聲及振動應滿足生產工藝和本規(guī)范的規(guī)定；
（4）送風量應能調節(jié)；
（5）應便于安裝、維修及過濾器更換。滿布或布置率較高時，外殼強度應滿足檢修要求。
3. 層流罩的設置應符合下列要求：
（1）潔凈室（區(qū)）內等于或嚴于5級的局部凈化區(qū)域宜采用層流罩；
（2）層流罩的形式和進風方式應根據生產工藝或設備需要選用；
（3）終阻力時的疊加噪聲及振動應滿足生產工藝和本規(guī)范的規(guī)定；
（4）安裝方式不應影響生產操作。
4. 微環(huán)境裝置的設置應符合下列要求：
（1）當生產工藝或設備對空氣潔凈度等級、外擾或溫度、相對濕度有較高要求，且所控區(qū)域不大時，宜采用微環(huán)境裝置；
（2）微環(huán)境裝置宜與生產工藝設備配套；
（3）在不影響工藝操作的前提下，應具有可靠的密閉性，內外表面應平整、光滑；
（4）圍擋構造、材料的選用應方便生產操作。
5. 干表冷器的設置應符合下列要求：
（1） 安裝位置、外形尺寸應根據潔凈廠房的平面和空間布置確定；
（2） 迎面風速、結構形式應根據潔凈室（區(qū)）冷負荷、風機過濾器機組所提供的機外余壓確定；
（3） 冷凍水進水溫度，宜高于潔凈室（區(qū)）內空氣的露點溫度；
（4） 應設置排水設施。
6. 凈化空調系統(tǒng)空氣處理機組的選用和布置，應符合下列要求：
（1）應有良好的氣密性，漏風率不得大于1％；
（2） 整體結構應有足夠的強度和剛度，內表面應平整、光滑，外表面不應結露；
（3） 布置應整齊，并應便于運行和維修；當多套空氣處理機組為同一潔凈室（區(qū)）服務時，宜選用相同規(guī)格的空氣處理機組；
（4） 送風機宜采取變頻調速措施。送風機可按凈化空調系統(tǒng)的總風量和總阻力值進行選擇。計算系統(tǒng)總阻力時，中效（高中效）、高效（亞高效、超高效）空氣過濾器的阻力宜按其初阻力的1.5～2.0倍取值；
（5） 應設置排水裝置。
