電子工業潔凈廠房采暖、通風設計要求如下:
1. 空氣潔凈度等級嚴于8級的潔凈室(區)不應采用散熱器采暖。
2. 潔凈廠房內產生粉塵和有害氣體的工藝設備和輔助設備,應設置局部排風裝置,排風罩宜為密閉式。局部排風系統單獨設置的要求,應符合現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073的有關規定。
3. 潔凈室(區)的排風系統設計,應符合下列要求:
(1)應防止室外氣流倒灌;
(2)含有易燃、易爆物質的局部排風系統應按其物理化學性質采取相應防火防爆措施;
(3)局部排風系統排出的有害氣體,當其有害物質濃度超過排放標準時,應采取有效處理措施。排氣管高度和排放速率應滿足國家現行有關排放標準的規定;
(4)對含有水蒸氣或凝結物質的排風系統,應設置坡度及排放口;
(5)排風介質中含有劇毒物質時,應設置備用排風機和處理設備,并應設置應急電源;
(6)排風介質中含易燃、易爆等危險物質或工藝可靠性要求較高時,應設置備用排風機,并應設置應急電源;
(7)排除有爆炸危險的氣體和粉塵的局部排風系統,其風量應按在正常運行和事故情況下,風管內爆炸危險氣體和粉塵的濃度不大于爆炸下限的20%計;
(8)排除有爆炸危險氣體和粉塵的局部排風系統,應設置消除靜電的接地裝置。
4. 對排風系統中含有毒性、爆炸危險性物質的排氣管路,應保持相對于路由區域一定的負壓值。
5. 凈鞋室、更外衣室、盥洗室廁所等生產輔助房間,應采取通風措施。
6. 潔凈室(區)事故排風系統的設計,應符合下列規定:
(1) 事故排風區域的換氣次數不應小于12次/h;
(2) 應設置自動和手動控制開關,手動控制開關應分別設置在潔凈室(區)和潔凈室(區)外便于操作的地點;
(3) 應設置應急電源。