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潔凈室純化水與高純水設(shè)計(jì)要求：（1） 純化水處理設(shè)備的安裝除應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求外，還應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《電子級(jí)水》GB 11446.1等有關(guān)規(guī)定。 （2） 純化水處理流程工藝布置與安裝方式應(yīng)合理、安全、...
潔凈室給水排水系統(tǒng)設(shè)計(jì)要求：1. 污染區(qū)域特別是微生物污染區(qū)域內(nèi)的供水管，不得與用水設(shè)備直接相連，必須有空氣隔斷，配水口應(yīng)高出用水設(shè)備溢出水位，間隔不應(yīng)小于2.5倍出水口口徑。在供水點(diǎn)和供水管路上均應(yīng)...
潔凈室氣體系統(tǒng)分項(xiàng)驗(yàn)收要求:（1） 各種成品應(yīng)有產(chǎn)品合格證，材料應(yīng)有質(zhì)量證明文件。 （2） 實(shí)際使用的管道材料和規(guī)格應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求。...
潔凈室氣體管道系統(tǒng)吹除和供給裝置要求:1. 氣體管道各項(xiàng)試驗(yàn)合格后，應(yīng)使用與潔凈室潔凈度級(jí)別匹配的潔凈無油壓縮空氣或高純氮?dú)獯党軆?nèi)污物，吹除氣流流速應(yīng)大于20m／s，直至末端排出氣體在白紙上無污痕為...
潔凈室氣體管道系統(tǒng)強(qiáng)度試驗(yàn)要求:1. 可燃?xì)怏w和高純氣體等特殊氣體閥門安裝前應(yīng)逐個(gè)進(jìn)行強(qiáng)度和嚴(yán)密性試驗(yàn)。管路系統(tǒng)安裝完畢后應(yīng)對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行強(qiáng)度試驗(yàn)。強(qiáng)度試驗(yàn)應(yīng)采用氣壓試驗(yàn)，并應(yīng)采取嚴(yán)格的安全措施，不得采用...
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